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本文用共聚焦显微镜测试氮化硅薄膜悬梁悬起的高度，确定出最适合接触式射频MEMS开关中使用的氮化硅生长工艺条件。
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3、
硬件组成上包括开关电源电路、微控制器电路、无线通信电路、振铃电路、键盘扫描电路、语音输入电路、语音输出电路和继电器控制电路。
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